单位简介

广东中科半导体微纳制造技术研究院是由佛山市、南海区共同支持建设的广东省省属事业单位。研究院面向国家重大战略及产业技术攻关需求,布局"新型显示与光电探测"、"功率电子与5G通信"、"MEMS智能传感"等研究方向,开展化合物半导体材料、光电子器件、电子器件、传感器件、精密印刷电子等多种半导体材料与器件工程化研究。

  • 研究院面向重大科研任务实施及区域产业发展需求,建设针对大尺寸材料外延、光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域的8吋硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台,开展GaN外延材料生长、芯片加工、封装测试等公共服务。

    研究院立足佛山,辐射粤港澳大湾区,建设服务半导体产业的高水平技术研发和公共服务平台,打造产业技术源头创新基地、科技成果转移转化基地、高端人才培养集聚基地。

发展历程

2024
  • 2024.07

    中试平台通线

  • 2023.03

    二期动工仪式顺利举行

2023
  • 2023.01

    获批省级工程技术研究中心

2022
  • 2022.07

    完成洁净实验室装修,设备进场

  • 2021.08

    研究院更名广东中科半导体微纳制造技术研究院

2021
  • 2021.04

    列入2021年广东省重点项目

  • 2020.11

    封装实验室投入使用

  • 2020.05

    成功召开设备论证会

2020
  • 2020.05

    研究院园区投入使用

  • 2019.09

    获批广东省高水平创新研究院、广东省高水平新型研发机构

  • 2019.07

    取得省属事业单位法人证书

2019
  • 2019.04

    研究院第一届理事会第一次会议顺利召开

荣誉资质

材料待提供