研究院面向重大科研任务实施及区域产业发展需求,建设针对大尺寸材料外延、光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域的8吋硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台,开展GaN外延材料生长、芯片加工、封装测试等公共服务。
研究院立足佛山,辐射粤港澳大湾区,建设服务半导体产业的高水平技术研发和公共服务平台,打造产业技术源头创新基地、科技成果转移转化基地、高端人才培养集聚基地。
单位简介
广东中科半导体微纳制造技术研究院是由佛山市、南海区共同支持建设的广东省省属事业单位。研究院面向国家重大战略及产业技术攻关需求,布局"新型显示与光电探测"、"功率电子与5G通信"、"MEMS智能传感"等研究方向,开展化合物半导体材料、光电子器件、电子器件、传感器件、精密印刷电子等多种半导体材料与器件工程化研究。
研究院面向重大科研任务实施及区域产业发展需求,建设针对大尺寸材料外延、光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域的8吋硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台,开展GaN外延材料生长、芯片加工、封装测试等公共服务。
研究院立足佛山,辐射粤港澳大湾区,建设服务半导体产业的高水平技术研发和公共服务平台,打造产业技术源头创新基地、科技成果转移转化基地、高端人才培养集聚基地。
发展历程
2024.07
中试平台通线
2023.03
二期动工仪式顺利举行
2023.01
获批省级工程技术研究中心
2022.07
完成洁净实验室装修,设备进场
2021.08
研究院更名广东中科半导体微纳制造技术研究院
2021.04
列入2021年广东省重点项目
2020.11
封装实验室投入使用
2020.05
成功召开设备论证会
2020.05
研究院园区投入使用
2019.09
获批广东省高水平创新研究院、广东省高水平新型研发机构
2019.07
取得省属事业单位法人证书
2019.04
研究院第一届理事会第一次会议顺利召开
荣誉资质