平台简介

半导体材料外延与表征平台是一个专注于第三代半导体材料外延生长的公共服务平台,拥有近2000平米的千级超净净化间,下设材料外延中心和封装测试中心。

材料外延中心拥有10余套材料外延生长的MOCVD设备和20余套满足各类材料检测的测试设备,具备在半导体材料外延领域深耕数十年的专业团队,硬件条件达到国际先进水平。中心能够满足客户进行III-V族化合物半导体外延材料生长,可提供2-8英寸定制外延生长技术、咨询服务,具备提供客制化材料外延生长整体解决方案的能力;拥有III-V族化合物半导体外延材料和器件的成像分析、结构分析、光谱测量、电学测量和表面测量的检测服务。

封装测试中心拥有固晶、焊线、压模、切割、分光、编带、测试等全流程工艺条件,具备大功率光电子器件陶瓷封装国内一流专业团队,可提供各类光电子器件封装、测试的定制化服务。

平台亦提供设备共享,支持用户独立操作和自主研发。致力于为国内外的创新型企业和研发机构提供服务和支撑,目标建设成为国际一流的创新型产学研合作发展平台。


服务模式

  • 客制化材料外延生长

    根据客户材料外延生长的要求,提供III-N族半导体的外延生长服务,包括发光二极管、激光器、功率器件等。

  • 材料(器件)测试表征

    具有覆盖半导体材料、晶圆、封装器件的整套测试方案,可为产业界提供专业化、个性化的检测分析服务。

  • 半导体器件封装

    可提供光电器件封装、晶圆切割、老化测试等服务。

  • 技术咨询及委托

    通过提供技术咨询、技术开发合作、技术授权、技术转让等服务解决客户关键难点技术。

  • 对外开放和共享

    平台内1600m2千级外延超净间及各种工艺、测试设备开放共享,提供专业的技术培训和服务支持,园区各项配套设施完善、资质齐全,可以实现入驻企业短周期审批、低成本投入、高效率生产。

联系方式

技术咨询

  • 电话:0757-88591813