单位简介

广东中科半导体微纳制造技术研究院是由佛山市、南海区共同投资建设,依托中科院苏州纳米所管理运营的广东省省属事业单位。研究院面向国家重大战略及产业技术攻关需求,布局"新型显示与光电探测"、"功率电子与5G通信"、"MEMS智能传感"等研究方向,开展化合物半导体材料、光电子器件、电子器件、传感器件、精密印刷电子等多种半导体材料与器件工程化研究。

  • 研究院面向重大科研任务实施及区域产业发展需求,建设针对大尺寸材料外延、光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域的8吋硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台,开展GaN外延材料生长、芯片加工、封装测试等公共服务。

    研究院立足佛山,辐射粤港澳大湾区,建设服务半导体产业的高水平技术研发和公共服务平台,打造产业技术源头创新基地、科技成果转移转化基地、高端人才培养集聚基地。

发展历程

2022
  • 2022.07

    完成洁净实验室装修,设备进场

2021
  • 2021.08

    研究院更名广东中科半导体微纳制造技术研究院

  • 2021.04

    列入2021年广东省重点项目

2020
  • 2020.11

    封装实验室投入使用

  • 2020.05

    研究院园区投入使用

  • 2020.05

    成功召开设备论证会

2019
  • 2019.09

    获批广东省高水平创新研究院、广东省高水平新型研发机构

  • 2019.07

    取得省属事业单位法人证书

  • 2019.04

    研究院第一届理事会第一次会议顺利召开

2018
  • 2018.11

    研究院合作框架协议在中科院与广东省共同建设粤港澳大湾区国际科技创新中心活动中签署

荣誉资质

材料待提供

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