化合物半导体材料外延团队

团队简介

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  • 研究员1副研究员2
  • 高级工程师1工程师5
  • 博士研究生3硕士研究生4
研究方向
本团队聚焦于第三代半导体氮化镓(GaN)材料外延生长研究,瞄准新型显示、5G移动通信、新能源汽车、大数据中心、紫外杀菌消毒等国家重大战略需求,立足于广东省经济社会发展的实际需要,注重大失配异质外延材料的应力调控、位错与点缺陷抑制、表/界面工程、以及能带工程,并且探索新型外延生长技术(准范德华外延生长技术、氮极性GaN材料外延生长技术等), 为各类氮化物半导体高性能光电子与电子器件的研发提供核心材料支撑。
硬件条件
团队拥有近2000平米的超净实验室,10余套MOCVD核心外延设备,Candela晶圆颗粒度检测、高分辨XRD、原子力显微镜、聚焦离子束显微镜FIB、拉曼与光致发光光谱、霍尔效应测试等完整的材料生长与测试分析平台,硬件条件达到国际先进水平,具备2-8英寸第三代半导体产业技术的中试能力。

研究方向概况和未来方向

团队目前已在硅基GaN高质量材料外延、AlGaN深紫外LED与探测器、大功率蓝白光LED与激光器材料生长、硅基GaN纵向功率器件外延、4-8英寸硅衬底GaN基HEMT电子材料生长等方面取得了具有国际影响力的成果。团队在大尺寸硅基GaN LED与HEMT材料生长方面积累了丰富的经验,已具备核心技术与产业化能力,并申请了数十项相关领域关键技术专利,具有较完整的自主知识产权。

下一步,团队将建设珠三角第三代半导体材料外延研发中心,并与国内外科研机构及知名企业开展深度合作,为各类高性能光电子器件与电子器件的研发提供核心材料支撑,竭力成为珠三角乃至国内外知名的第三代半导体外延材料供应商。具体将重点开展以下关键瓶颈技术突破:

  • 01大尺寸硅基氮化镓RGB三基色LED材料外延
  • 02氮化镓蓝绿光激光器材料外延
  • 03氮化铝镓深紫外光电子材料外延
  • 04氮化镓射频HEMT与HBT材料外延
  • 05氮化镓电力电子HEMT与纵向功率器件外延
  • 06氮极性氮化镓材料生长与准范德华外延

关键领域

以GaN为代表的第三代半导体材料,具有直接带隙、禁带宽度大、击穿场强高、电子饱和漂移速率高、热导率高等显著优势,在高频、高效、高温、高功率、高耐压、抗辐射等领域具有重要应用价值,有望成为我国半导体产业与技术弯道超车的先锋,已被写入国家“十四五规划”和“2035年远景目标纲要”,也是广东省十四五规划的重点发展对象。事实上,近年来随着新型显示、5G通信、物联网、新能源汽车等领域的快速发展,以GaN材料为载体的微波射频器件、电力电子器件、激光器与Micro-LED等市场规模急剧扩大。然而,大尺寸、高质量GaN核心器件材料的外延生长仍是限制其走向高端应用的关键因素。基于此,本团队将紧密围绕大失配异质外延材料的应力调控、位错与点缺陷抑制、表/界面工程、以及能带工程,并且探索准范德华外延、氮极性GaN材料外延等新型外延生长技术, 为各类氮化物半导体高性能光电子与电子器件的研发提供核心材料支撑。

  • 关键研究领域
    • 大尺寸硅基GaN高性能RGB三基色LED材料外延
    • 高效、高可靠GaN蓝绿光激光器材料外延
    • 高光效AlGaN基紫外发光二极管材料外延
    • 高频、高功率硅基GaN射频电子材料外延
    • 高效、大功率硅基GaN电力电子材料外延
  • 关键应用领域
    • 像素矩阵式智能车大灯、车载智能光源与抬头显示
    • 可穿戴电子等Micro-LED新型显示,激光显示
    • 紫外杀菌消毒与日盲紫外探测
    • 5G移动通信
    • 快充电源、电动汽车与大数据中心

主要成果和荣誉

本团队主持承担国家重点研发计划、广东省重点研发计划、广东省基础与应用基础等多项科研项目,累计合同经费超过7000万。团队目前在物理学旗舰期刊Appl. Phys. Let.、国际著名学术期刊ACS Appl. Mat. & Interfaces、ACS Photonics、CrystEngComm、IEEE Elec. Dev. Let.等上发表论文30余篇,申请国家发明专利10余项。