自驱动智能感知微系统技术研究

团队简介

团队致力于解决自驱动传感微系统领域的关键科学问题和共性技术难题,重点开展了微纳敏感材料及换能结构力-电耦合效应增强机理和实现方法研究,提出异相功能材料集成和多相换能机制复合的创新研究思路,有效整合各相功能材料和换能机制在机、电特性方面的优势,实现功能互补和协同增强,系统揭示了多相复合材料及换能机构的力-电转换效应输出增强机理和敏感机制,解决了铁电功能材料晶圆级异质集成及电畴精准调控、高灵敏力学传感器设计与制造(压电式MEMS仿生矢量水听器和高g值加速度计)、微弱应力分布高灵敏感知、高效微能源俘获、微系统无线无源智能化监测等共性关键技术,为自驱动传感微系统开发提供核心基础理论与关键技术支持,相关研究成果应用于科技冬奥、无人值守、智慧矿山等领域。

研究方向

  • 硅基功能材料及微纳结构异质集成技术研究
  • 高灵敏力学微纳传感器研究
  • 高功率密度微能源器件研究
  • 级联电-声-光耦合THz滤波器件研究