高精度硅基MEMS时频参考芯片研发及产业化

团队简介

团队主要研究的是智能MEMS器件,包括高温模拟芯片、时频芯片。高温模拟芯片在175℃的高温情况下可以长时间稳定工作,打破国外禁运,可实现温漂小、高精度信号采集、传输和处理,在石油钻井及测井、航空航天电子设备、重型工业过程控制、发电机组及重型内燃机等领域具有庞大的市场空间与前景。

ppm级的时频芯片可以为深海深底勘探领域中提供时间基准,核心技术已被国外垄断,本课题研发自主产权时频芯片,利用硅基MEMS振荡器及加热元件和温度传感器使工作温度保持定值的恒温方法另时频芯片频率稳定度最高达ppb级。

研究方向

  • MEMS谐振器设计
  • MEMS谐振器的频率校正与CMOS电路协同设计
  • 微恒温平台的设计
  • 控制与制造